仪器型号：日本电子JSM-7800(Prime)

主要性能：
1. 分辨率 0.7nm@15kV；0.7nm@1kV；3.0nm@100V;
2. 放大倍数 ×10 ~ ×1,000,000，放大倍数粗、细模式连续可调；
3. 具有随着工作距离或加速电压的变化自动精确校正、补偿、预设等功能；
4. ×10 ~ ×19,000，可使用大景深模式;
5. 加速电压 10V~30kV ；
6. 束流强度 1pA-500nA(30kV); 20nA (2kV);
7. 束流稳定度：1%/24hrs，适合长时间的分析工作;
8. 载有牛津能谱仪。

功能：用于材料表面的微观形貌的高分辨观察，还具备连接各种原位样品台及其它分析附件的扩展接口。X-MaxN50 Aztec X射线能谱仪是先进的样品表面分析仪器，可用于材料表面的微区成分分析，可以得到样品成分分布情况以及含量情况。