三维显微镜是一种非接触式高精度测量仪器。它通过光学或电子束扫描技术，获取样品表面的高度与形貌信息，并实时重建出三维数字模型，从而实现对微观结构形貌、粗糙度、体积及关键尺寸的定量可视化分析与测量。在半导体制造、材料科学、精密加工、生物医疗、新能源、电子封装等涉及微观形貌表征、三维尺寸测量与表面质量检测的生产过程及相关的科学研究中均可使用三维显微测量技术。